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申请/专利权人：上海大学
摘要：本发明涉及一种分辨碲锌镉晶体111A面与111B面的方法，其包括以下步骤：S1：将碲锌镉CdZnTe或CZT晶圆定向切割成晶片，研磨后备用；S2：使用抛光液对S1中打磨后的CZT晶片进行机械抛光，随后清洗、干燥；S3：使用蓝膜覆盖CZT晶片表面，在上表面裁剪出两条用于形成条形电极的暴露区域，随后在暴露区域滴加氯化金溶液形成条形电极；随后在下表面按同样操作形成两条条形电极；S4：分别测量S3中上表面两电极之间和下表面两电极之间的漏电流，根据上表面和下表面的漏电流性能确定CZT晶体的111A面与111B面。与现有技术相比，本发明采用非破坏性的电学测试进行CZT晶片表面的漏电流测试，不会对CZT晶片表面产生破坏，且更安全环保。
主权项：1.一种分辨碲锌镉晶体111A面与111B面的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：将CZT晶圆定向切割成晶片，研磨后备用；S2：使用抛光液对S1中打磨后的CZT晶片进行机械抛光，随后清洗、干燥；S3：使用蓝膜覆盖CZT晶片表面，在上表面裁剪出两条用于形成条形电极的暴露区域，随后在暴露区域滴加氯化金溶液形成条形电极；随后在下表面按同样操作形成两条条形电极；S4：分别测量S3中上表面两电极之间和下表面两电极之间的漏电流，根据上表面和下表面的漏电流性能确定CZT晶体的111A面与111B面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海大学 一种分辨碲锌镉晶体（111）A面与（111）B面的方法
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