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申请/专利权人：立积电子股份有限公司
摘要：本发明提供一种声波装置及其制造方法，其中该声波装置包含压电基底、换能器、焊接层、钝化层及堆叠。压电基底具有表面，换能器设置于压电基底的表面，焊接层设置于压电基底的表面，且电性连接于换能器。钝化层覆盖于换能器上。堆叠设置于焊接层上。钝化层设置于开放空间。
主权项：1.一种声波装置的制造方法，其特征在于，包含：提供一压电基底，其中该压电基底上设置有一换能器及一焊接层，且该换能器上覆盖有一钝化层；在该压电基底上形成一第一光阻层；图案化该第一光阻层以形成一第一图案化光阻层，其中该第一图案化光阻层覆盖该钝化层的一上表面且露出该焊接层的一上表面；于该焊接层的该上表面及该第一图案化光阻层上形成一金属层；及剥离该第一图案化光阻层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 立积电子股份有限公司 声波装置及其制造方法
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