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申请/专利权人：三星显示有限公司
摘要：提供了制造显示设备的方法和显示设备。制造显示设备的方法包括提供具有第一薄膜晶体管区和第二薄膜晶体管区的衬底，在衬底上形成第一氧化物半导体层，形成覆盖第一氧化物半导体层的第一栅极绝缘层，在衬底上形成第二氧化物半导体层，在衬底上形成第二栅极绝缘层，在第二栅极绝缘层上方，在第一薄膜晶体管区中形成第一栅电极并且在第二薄膜晶体管区中形成第二栅电极，以及通过使用第一栅电极和第二栅电极作为蚀刻掩模通过蚀刻第一栅极绝缘层和蚀刻第二栅极绝缘层来形成第一栅电极堆叠件和第二栅电极堆叠件。
主权项：1.一种制造显示设备的方法，所述方法包括：提供具有第一薄膜晶体管区和第二薄膜晶体管区的衬底；在所述第一薄膜晶体管区中在所述衬底上形成第一氧化物半导体层；在所述第一薄膜晶体管区中形成覆盖所述第一氧化物半导体层的第一栅极绝缘层；在所述第二薄膜晶体管区中在所述衬底上形成第二氧化物半导体层；在形成有所述第一栅极绝缘层和所述第二氧化物半导体层的所述衬底上形成第二栅极绝缘层；在所述第二栅极绝缘层上方，在所述第一薄膜晶体管区中形成第一栅电极，并且在所述第二薄膜晶体管区中形成第二栅电极；以及通过使用所述第一栅电极和所述第二栅电极作为蚀刻掩模，通过蚀刻位于所述第一栅电极下方的所述第一栅极绝缘层并且蚀刻位于所述第一栅电极和所述第二栅电极下方的所述第二栅极绝缘层来形成第一栅电极堆叠件和第二栅电极堆叠件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三星显示有限公司 显示设备及其制造方法
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