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申请/专利权人：唐山万士和电子有限公司
摘要：本发明涉及基片清洗技术领域，提出了一种自动化上料的基片清洗烘干装置，用清洗液对基片进行清洗，包括：机箱，具有容纳槽；清洗池，滑动设置于容纳槽内，清洗池具有清洗槽；提升件，设置于机箱上；基片放置架，设置于提升件上，提升件用于带动基片放置架进入或离开清洗池，基片放置架具有插槽，基片可拆卸设置于插槽内；通风盖板，滑动设置于机箱上，通风盖板用于遮挡容纳槽，通风盖板具有出风通道，出风通道用于向容纳槽内输送热风。通过上述技术方案，解决了相关技术中在基片清洗完毕后，需要用转运装置转移到烘干箱内，在转运的过程中，基片表面容易受到空气中灰尘的污染的问题。
主权项：1.一种自动化上料的基片清洗烘干装置，用清洗液对基片17进行清洗，其特征在于，包括：机箱1，具有容纳槽2；清洗池3，滑动设置于所述容纳槽2内，所述清洗池3具有清洗槽301；提升件4，设置于所述机箱1上；基片放置架16，设置于所述提升件4上，所述提升件4用于带动所述基片放置架16进入或离开所述清洗池3，所述基片放置架16具有插槽1603，所述基片17可拆卸设置于所述插槽1603内；通风盖板5，滑动设置于所述机箱1上，所述通风盖板5用于遮挡所述容纳槽2，所述通风盖板5具有出风通道6，所述出风通道6用于向所述容纳槽2内输送热风。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 唐山万士和电子有限公司 一种自动化上料的基片清洗烘干装置
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