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一种无基板电感元件及其制备方法 

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申请/专利权人:旺诠科技(昆山)有限公司

摘要:本发明涉及一种无基板电感元件的制备方法,包括基层预备阶段、电路层形成阶段、包覆层形成阶段、增厚层形成阶段、切割覆盖阶段和移除成型阶段。同时本发明还公开了一种无基板电感元件,包括磁性材料层、增厚层、主线路层、绝缘包覆层、隔离层和端电极,所述磁性材料层一侧与所述增厚层连接,所述增厚层两端各设有一个绝缘包覆层,所述绝缘包覆层内设有主线路层,所述主线路层两端分别与一个端电极连接,所述磁性材料层和所述增厚层外包覆有隔离层。使用该方法制备的电感元件不具备基板,还能通过增设增厚层有效的替升电感元件的特性,缩小了产品的组件尺寸,便于电感元件的微型化。

主权项:1.一种无基板电感元件的制备方法,其特征在于,包括:第一步,基层预备阶段,首先在基板上涂覆隔离膜,接着在隔离膜上以压模的方式制备一层磁性材料层,并在磁性材料层上印刷上绝缘膜,之后在绝缘膜上镀上铜晶种层,完成基层预备阶段的工作;第二步,电路层形成阶段,在铜晶种层上喷涂第一光阻层,并对绝缘膜上侧的第一光阻层进行曝光显影,令铜晶种层露出,之后在露出的铜晶种层上镀上第一电路层,之后在第一电路层和第一光阻层上镀上第二光阻层,然后再对第一电路层上端的第二光阻层进行曝光显影,露出第一电路层,并在第一电路层上侧镀上主线路层,随后再进行曝光显影,移除第一光阻层和第二光阻层,电路层形成阶段完成;第三步,包覆层形成阶段,在电路层形成阶段完成后,通过蚀刻的方式将磁性材料层上的铜晶种层移除,随后在主线路层外包覆绝缘包覆层,包覆层形成阶段完成;第四步,增厚层形成阶段,在磁性材料层上以压模的方式形成增厚层,并对增厚层进行研磨,以达到组件整体的预设厚度;第五步,切割覆盖阶段,对增厚层的两端进行切割至隔离膜上侧表面,得到半成品组件,并在半成品的外围涂覆隔离膜,形成隔离层,之后对主线路层端部上的隔离膜进行切除,使主线路层端部露出;第六步,移除成型阶段,首先用热脱胶贴附在隔离层和主线路层外侧,再以蚀刻的方式移除基板,然后撕去热脱胶,之后在主线路层端部依次镀上铜层、镍层和锡层,电感元件制备完成。

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权利要求:

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