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申请/专利权人：上海世禹精密设备股份有限公司
摘要：本发明提供了一种涉及半导体制造设备领域的植球机用全密封供锡球装置，包括供球盒和铺球盒，供球盒通过供球导管连接铺球盒，供球盒上设有供气接头，供气接头通气后将供球盒内的锡球通过气吹向供球导管，供球导管将锡球传入铺球盒上的供球入口接头，锡球从供球入口接头进入铺球盒内腔中，铺球盒内腔中设有匀球斜坡，匀球斜坡将锡球均匀掉落至铺球盒各处。本发明采用全密封结构，解决锡球被吹飞的问题，提高锡球利用率，减少锡球浪费，提高机台的安全性；拆换快捷方便，能解决更换不同的锡球供球导管中容易残留球与其他的球混合的问题，排除这方面对植球良率的不利影响；匀球斜坡能够让锡球进入铺球盒后，均匀的掉落到铺球盒的腔体各处。
主权项：1.一种植球机用全密封供锡球装置，其特征在于，包括供球盒1和铺球盒2，所述供球盒1通过供球导管连接所述铺球盒2，所述供球盒1上设有供气接头，所述供气接头通气后将所述供球盒1内的锡球通过气吹向所述供球导管，所述供球导管将锡球传入所述铺球盒2上的供球入口接头25，锡球从所述供球入口接头25进入所述铺球盒2内腔中，所述铺球盒2内腔中设有匀球斜坡27，所述匀球斜坡27将锡球均匀掉落至所述铺球盒各处；所述铺球盒2上设有与之相匹配的铺球盒盖板21，所述铺球盒盖板21上设有排气穴26和匀球斜坡27，所述排气穴26上设有钢网压板24，所述匀球斜坡27上设有供球腔盖板23；所述铺球盒盖板21侧壁上设有球头顶丝22，所述铺球盒盖板21通过所述球头顶丝22连接于所述铺球盒2；所述供球入口接头25连接于所述铺球盒盖板21一侧，且所述供球入口接头25与所述匀球斜坡27连通。
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权利要求：
百度查询： 上海世禹精密设备股份有限公司 植球机用全密封供锡球装置
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