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申请/专利权人：湖北大学
摘要：本发明涉及气敏传感器技术领域，提供了一种二氧化钛气敏传感器及其制备方法。本发明采用光沉积法对金红石相二氧化钛异面结薄膜进行贵金属修饰，简单、安全、高效，无需使用危险试剂，贵金属利用率高，且贵金属纳米颗粒大小及分散程度容易控制。另外，本发明利用贵金属纳米颗粒的催化作用和异面结势垒高度的调节效应，获得了气敏性能优异的传感器件，并且本发明采用非贵金属电极替代传统的贵金属电极，能有效降低器件中贵金属的用量。本发明制备的传感器件在室温下对H2具有高灵敏度、高选择性和良好的长期稳定性，传感器成本低，有利于传感器的推广应用。
主权项：1.一种二氧化钛气敏传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1将衬底的导电面朝下置于第一前驱液中进行第一水热反应，然后进行第一退火处理，在衬底表面形成棒状金红石相二氧化钛层；所述第一前驱液的成分包括水、乙醇、盐酸和有机钛源；2将衬底具有棒状金红石相二氧化钛层的一面朝下置于第二前驱液中进行第二水热反应，然后进行第二退火处理，在衬底表面形成金红石相二氧化钛异面结薄膜；所述第二前驱液的成分包括水、盐酸和三氯化钛；3将表面具有金红石相二氧化钛异面结薄膜的衬底置于光沉积反应前驱液中进行光沉积反应，然后进行第三退火处理，在衬底表面形成贵金属修饰金红石相二氧化钛异面结薄膜；所述光沉积反应前驱液的成分包括水、甲醇和贵金属前驱体；所述贵金属前驱体中的金属元素包括Pt、Au和Pd中的一种或几种；所述光沉积反应前驱液由水、甲醇和贵金属前驱体溶液配制得到，所述水、甲醇和贵金属前驱体溶液的体积比为120～136:20～40:0.2～1；所述贵金属前驱体溶液的浓度为0.001～0.1gmL；所述光沉积反应在氙灯照射条件下进行，所述氙灯照射的电流为5～30mA，照射时间为10～60min；4在衬底具有贵金属修饰金红石相二氧化钛异面结薄膜的一面制备非贵金属电极，得到二氧化钛气敏传感器；所述非贵金属电极包括金属电极或非金属电极；所述金属电极为Al、Ti、Cu、Ag和W中的一种或者其中至少两种的合金；所述非金属电极为炭质导电材料。
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百度查询： 湖北大学 一种二氧化钛气敏传感器及其制备方法
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