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申请/专利权人:住友重机械工业株式会社
摘要:本发明提供一种能够抑制装置的大型化及成本上升且能够抑制光学谐振腔的光轴错开的激光振荡器。激光介质气体容纳于腔室中。放电电极在腔室内产生放电。具有通过放电电极产生放电的区域的光轴的光学谐振腔保持在配置于腔室内的谐振腔底座。激光振荡器设置有温度差减少结构,所述温度差减少结构减少谐振腔底座的表面中的面朝放电电极的方向的第1表面和面朝与放电电极相反一侧的方向的第2表面之间的温度差。
主权项:1.一种激光振荡器,其特征在于,具有:放电电极,在容纳激光介质气体的腔室内产生放电;谐振腔底座,配置于所述腔室内且保持具有通过所述放电电极产生放电的区域的光轴的光学谐振腔;及温度差减少结构,减少所述谐振腔底座的表面中的面朝所述放电电极的方向的第1表面和面朝与所述放电电极相反一侧的方向的第2表面之间的温度差,所述温度差减少结构包括配置于所述谐振腔底座与所述放电电极之间且进行绝热或隔热的热屏蔽部件;所述热屏蔽部件以能够沿所述光学谐振腔的光轴方向伸缩的方式支承于所述谐振腔底座上。
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权利要求:
百度查询: 住友重机械工业株式会社 激光振荡器
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