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申请/专利权人：江苏先锋精密科技股份有限公司
摘要：本发明公开了一种半导体去胶设备的异形密封区域检验工装，包括可分离设置在异型密封区域内的通规检具和止规检具，通规检具包括圆弧形的通规基准部、设置在通规基准部外周面的通规检验部，止规检具包括圆弧形的止规基准部、设置在止规基准部外周面的止规检验部、设置在止规检验部外周面的止规检验部，通规检测部包括依序连接的第一通规倾斜部和第二通规倾斜部，止规检验部包括依序连接的第一止规倾斜部和第二止规倾斜部，通规基准部上设置有第一开口，止规基准部上设置第二开口。本发明的检验工装解决了检验效率低下、检验精准度差的技术问题。本发明还公开了一种检验方法，简化检验步骤，无需三坐标仪，检验效率高，检验误差小。
主权项：1.一种半导体去胶设备的异形密封区域检验工装，其特征在于，包括可分离设置在所述异形密封区域内的通规检具（1）和止规检具（2），所述通规检具（1）包括圆弧形的通规基准部（101）、设置在所述通规基准部（101）外周面的通规检验部，所述止规检具（2）包括圆弧形的止规基准部（201）、设置在所述止规基准部（201）外周面的止规检验部、设置在所述止规检验部外周面的止规检验部，所述通规检验部包括依序连接的第一通规倾斜部（102）和第二通规倾斜部（103），所述止规检验部包括依序连接的第一止规倾斜部（202）和第二止规倾斜部（203），所述通规基准部（101）上设置有第一开口（1011），所述止规基准部（201）上设置第二开口（2011），所述第一通规倾斜部（102）的最外侧边缘的直径小于所述第一止规倾斜部（202）最外侧边缘的直径。
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权利要求：
百度查询： 江苏先锋精密科技股份有限公司 一种半导体去胶设备的异形密封区域检验工装及检验方法
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