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申请/专利权人：成都云绎智创科技有限公司

摘要：本申请公开了一种载片测试方法、装置、设备、存储介质以及程序产品，涉及载片测试技术领域，公开的载片测试方法，包括：获取高度测量传感器采集的待测载片中各测试点的实际高度值；利用所有所述第一实际高度值，确定承载待测载片的可升降卡盘的第一高度补偿值，并利用所述第一高度补偿值调整所述可升降卡盘；针对每一所述可移动探针，利用所述可移动探针对应的所有所述第二实际高度值，确定所述可移动探针的第二高度补偿值，并利用所述第二高度补偿值调整所述可移动探针；对所述待测载片进行测试。本申请可以实现利用自动探针台对载片进行自动测试的目的。

主权项：1.一种载片测试方法，其特征在于，所述方法包括：获取高度测量传感器采集的待测载片中各测试点的实际高度值；其中，所述测试点包括用于与固定探针相接触的第一测试点以及用于与可移动探针相接触的第二测试点，所述实际高度值包括与各第一测试点相对应的第一实际高度值，以及与各第二测试点相对应的第二实际高度值；利用所有所述第一实际高度值，确定承载待测载片的可升降卡盘的第一高度补偿值，并利用所述第一高度补偿值调整所述可升降卡盘；针对每一所述可移动探针，利用所述可移动探针对应的所有所述第二实际高度值，确定所述可移动探针的第二高度补偿值，并利用所述第二高度补偿值调整所述可移动探针；对所述待测载片进行测试；所述利用所有所述第一实际高度值，确定承载待测载片的可升降卡盘的第一高度补偿值的步骤，包括：从所有所述第一实际高度值中确定出最大高度值和最小高度值；计算所述最小高度值与所述最大高度值的第一平均高度值；将所述第一平均高度值作为所述第一高度补偿值；所述计算所述最小高度值与所述最大高度值的第一平均高度值的步骤，包括：确定标准载片上对应的第一参考高度值；计算所述最大高度值与所述第一参考高度值之间的第一高度差值；计算所述最小高度值与所述第一参考高度值之间的第二高度差值；若所述第一高度差值以及所述第二高度差值均处于预设探针溃缩量内，则计算所述最小高度值与所述最大高度值的第一平均高度值；所述利用所述可移动探针对应的所有所述第二实际高度值，确定所述可移动探针的第二高度补偿值的步骤，包括：针对每一所述第二实际高度值，确定标准载片上对应的第二参考高度值；计算所述第二实际高度值与所述第二参考高度值之间的第三高度差值；将所述第三高度差值作为所述可移动探针的所述第二高度补偿值。

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