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申请/专利权人：广东工业大学
摘要：本发明公开了一种氮化物纳米材料的制备方法及制备系统，涉及纳米材料技术领域。本发明氮化物纳米材料的制备方法如下：将电极靶材安装于火花烧蚀装置的内部，电极靶材的材料为金属材料或非金属材料；电极靶材的供电电压为6～9KV，供电电流为15～50mA；向火花烧蚀装置中通入氮气，启动火花烧蚀装置的电源，在火花烧蚀装置的内部产出氮化物纳米颗粒，对氮化物纳米颗粒进行收集后，得到氮化物纳米材料。本发明的制备方法具有制备工艺简单且生产效率高的优点，能够实现工业化生产，解决了现有氮化物纳米材料的制备方法因制备过程复杂、生产效率低和生产条件苛刻而导致制备成本高和难以实现工业化生产的问题。
主权项：1.一种氮化物纳米材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）将数量为2倍数的电极靶材安装于火花烧蚀装置的内部，所述电极靶材的材料为金属材料或非金属材料；所述电极靶材的供电电压为6~9KV，供电电流为15~50mA；（2）向火花烧蚀装置中通入流量为5~10Lmin的氮气，启动火花烧蚀装置的电源，氮气发生电离产生氮离子，电极靶材电离产生等离子体，等离子体和氮离子反应生成氮化物原子，氮化物原子在火花烧蚀装置的内部发生碰撞和团聚，形成氮化物纳米颗粒，对氮化物纳米颗粒进行收集后，得到氮化物纳米材料；其中，当电极靶材的材料为金属材料时，所述电极靶材的材料为镁、铝、钾、钙、镍、镓、锶和锂中的任意一种；当电极靶材的材料为非金属材料时，所述电极靶材的材料为二氧化硅或硅单质。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东工业大学 一种氮化物纳米材料的制备方法及制备系统
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