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申请/专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
摘要：本实用新型的实施例提供一种相变材料开关可包括：第一内连线级介电质；散热片，形成于第一内连线级介电质内；第二内连线级介电质，形成于散热片之上；相变材料组件，形成于第二内连线级介电质之中或之上；第一电极及第二电极，与相变材料组件进行导电性接触；以及加热组件，耦合至相变材料组件且被配置成向相变材料组件供应热脉冲。散热片可位于相变材料组件及加热组件中的第一者附近且散热片可小于相变材料组件。可利用与用于形成电性内连线的材料及工艺相似的材料及工艺来形成散热片，但与电性内连线不同，散热片可与电性内连线电性隔开。
主权项：1.一种相变材料开关，其特征在于，包括：第一内连线级介电质；散热片，形成于所述第一内连线级介电质内；第二内连线级介电质，形成于所述散热片之上；相变材料组件，形成于所述第二内连线级介电质之中或之上；第一电极及第二电极，与所述相变材料组件进行导电性接触；以及加热组件，耦合至所述相变材料组件且被配置成向所述相变材料组件供应热脉冲，其中所述散热片位于所述相变材料组件及所述加热组件中的第一者附近，并且其中所述散热片小于所述相变材料组件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 台湾积体电路制造股份有限公司 具有高效散热片的相变材料开关
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