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申请/专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
摘要：一种检测护膜的方法包括：确认是否要检查第一护膜的内部粒子；及回应于第一护膜的检查：在基板上形成遮罩层；通过移动光罩组件形成散焦光路；通过散焦光来曝光遮罩层，且散焦光具有与第一护膜隔开距离的焦平面；拍摄基板的图像；通过分析图像确定是否超过阈值；回应于超过阈值，以第二护膜取代第一护膜；及，回应于未超过阈值，使用第一护膜执行晶圆生产。
主权项：1.一种检测护膜的方法，其特征在于，包括：确认是否要检查一第一护膜的多个内部粒子；以及回应于该第一护膜的检查：在一基板上形成一遮罩层；通过移动一光罩组件形成一散焦光路；通过一散焦光来曝光该遮罩层，其中该散焦光具有与该第一护膜间隔开一距离的一焦平面；拍摄该基板的一图像；通过分析该图像确定是否超过一阈值；回应于超过该阈值，以一第二护膜取代该第一护膜；以及回应于未超过该阈值，使用该第一护膜执行晶圆生产。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 台湾积体电路制造股份有限公司 检测护膜的方法
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