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申请/专利权人：中国科学院新疆理化技术研究所

摘要：本发明提供了一种可同时束流整形及流强监测的可调光阑，该光阑是由信号引出线、信号线航空插头、限位杆、伺服电机、支撑外壳、连接杆、绝缘连接件、绝缘导轨、金属挡板和光阑狭缝组成，将光阑沿A、B、C和D四个方向对称的通过支撑外壳固定到外部支架上，其中A和C为水平方向，B和D为垂直方向；可独立移动金属挡板移动来实现束流整形。通过测量金属挡板上的电荷流强，得到被金属挡板阻挡而损失的束流流强。根据前端的非拦截式束诊装置测量到的流强，减去光阑金属挡板阻挡的流强，得到通过光阑金属挡板之间狭缝轰击到样品靶上流强，实现对照射样品注量率的实时监测，便于提前发现束流异常。通过与前端非拦截式束流测量配合，在线监测轰击在靶上的束流注量率及打在靶上的离子总注量。代替常用的实验前测量出平均注量率，然后在照射实验中默认注量率与实验前测量的注量率相同的方式。

主权项：1.一种可同时束流整形及流强监测的可调光阑，其特征在于，该光阑是由信号引出线（1），信号线航空插头（2）、限位杆（3）、伺服电机（4）、支撑外壳（5）、连接杆（6）、绝缘连接件（7）、绝缘导轨（8）、金属挡板（9）和光阑狭缝（10）组成，将光阑沿A、B、C和D四个方向对称的通过支撑外壳（5）固定到外部支架上，其中A和C为水平方向，B和D为垂直方向；在光阑的一端设有金属挡板（9），通过绝缘连接件（7）和绝缘导轨（8）与地端绝缘，限位杆（3）一端与通过连接杆（6）与金属挡板（9）连接固定，连接杆（6）与绝缘连接件（7）连接，并在绝缘连接件（7）上设有绝缘导轨（8）；通过伺服电机（4）转动带动连接杆（6）前后移动，控制四个方向的金属挡板（9）移动，以控制四个金属挡板（9）之间的光阑狭缝（10）尺寸大小，在金属挡板（9）上设有信号引出线（1），信号引出线（1）一端通过支撑外壳（5）与信号线航空插头（2）连接，信号引出线（1）另一端与绝缘连接件（7）连接，具体操作按下列步骤进行：a、通过伺服电机（4）转动，带动连接杆（6）前后移动，控制金属挡板（9）前进，通过A、B、C和D四个方向的金属挡板（9）移动，控制A、B、C和D四个金属挡板之间的缝隙（10）尺寸，束流中心部分通过缝隙（10）到达靶上，而边缘部分被金属挡板（9）阻挡，实现了对束流的整形；b、金属挡板（9）与信号引出线（1）是连通的，被金属挡板（9）阻挡的离子所带的电荷通过信号引出线（1）导出至外部的信号线航空插头（2），将外部电子学与信号线航空插头（2）连接，即测得金属挡板所阻挡的电荷离子数；c、配合前端测量束流的非拦截式束诊设备在线测得的离子数，减去光阑阻挡的离子数，得到实时轰击到靶样品上的离子数；d、金属挡板（9）与地端是绝缘的，被金属挡板（9）阻挡的束流上携带的电荷信号经信号引出线（1）引出到后端电子学设备，根据电荷信号即得到的被金属挡板所阻挡的束流流强；e、将步骤d所测得的束流流强，减去由于金属挡阻挡板（9）而刮去的边缘流强，得到穿过光阑狭缝轰击到靶上的流强，实现了对轰击在靶上的离子的实时在线检测，根据测得的实时注量，通过累加方式即得到靶上的离子总注量。

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