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Q开关式气体激光器中的脉冲均衡 

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申请/专利权人:相干公司

摘要:具有双变量脉冲均衡的Q开关式气体激光器装置包括气体激光器、传感器和电子电路。Q开关可使激光谐振器在高损耗状态与低损耗状态之间切换以生成脉冲式激光束。传感器获得指示激光脉冲能量的脉冲式激光束的测量值。电子电路操作Q开关以a使激光谐振器在高损耗状态和低损耗状态之间反复地切换以设置脉冲式激光束的激光脉冲的重复率,b基于脉冲能量测量结果来调整低损耗状态的损耗水平,以达到目标激光脉冲能量,以及c调整低损耗状态的持续时间,以达到目标激光脉冲持续时间。通过调整脉冲能量和持续时间两者,可以根据需要在很宽的重复率范围内实现均匀的脉冲能量和均匀的脉冲持续时间。

主权项:1.具有脉冲均衡功能的Q开关式气体激光器装置,包括:气体激光器,所述气体激光器包括具有Q开关的激光谐振器,该Q开关可操作以使所述激光谐振器在高损耗状态和低损耗状态之间切换以产生脉冲式激光束;第一传感器,所述第一传感器用于获得指示激光脉冲能量的脉冲式激光束的第一测量结果;以及电子电路,所述电子电路通信地耦合在所述Q开关与所述第一传感器之间并且被配置为操作所述Q开关以a使所述激光谐振器在所述高损耗状态与低损耗状态之间反复地切换以设置所述脉冲式激光束的激光脉冲的重复率,b基于第一测量结果调整所述低损耗状态的损耗水平,以达到目标激光脉冲能量,以及c调整所述低损耗状态的持续时间,以达到目标激光脉冲持续时间。

全文数据:

权利要求:

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