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申请/专利权人：华邦电子股份有限公司
摘要：本发明提供一种动态随机存取存储器及其制造方法，所述动态随机存取存储器，包括多个字线结构、多个位线结构、多个节点接触件以及多个间隔件。多个字线结构，位于衬底中。多个位线结构，位于所述衬底上方，跨过所述多个字线结构。每一节点接触件位于相邻的两个字线结构以及相邻的两个位线结构之间。多个间隔件，位于所述多个节点接触件的多个侧壁上。相邻的两个节点接触件的两个间隔件的顶部与底部彼此相连而形成所述多个第一气隙。
主权项：1.一种动态随机存取存储器，其特征在于包括：多个字线结构，位于衬底中；多个位线结构，位于所述衬底上方，跨过所述多个字线结构；多个节点接触件，其中每一节点接触件位于相邻的两个字线结构以及相邻的两个位线结构之间；以及多个间隔件，位于所述多个节点接触件的多个侧壁上，其中相邻的两个节点接触件的两个间隔件的顶部与底部彼此相连而形成多个第一气隙。
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权利要求：
百度查询： 华邦电子股份有限公司 动态随机存取存储器及其制造方法
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