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申请/专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
摘要：本发明提供了一种静电吸盘用氧化铝陶瓷片模压成型制备方法，所述模压成型制备方法将所有原料混合得到的氧化铝浆料，依次进行喷雾造粒、模压成型、冷等静压与机加工、丝网印刷、层叠与烧结，可以制备得到尺寸均匀、加工性能好、高致密、内部电介质层及加热层平整、吸附性能稳定、加热均匀和抗弯性能优异的静电吸盘用氧化铝陶瓷片。
主权项：1.一种静电吸盘用氧化铝陶瓷片模压成型制备方法，其特征在于，所述模压成型制备方法包括如下步骤：1将氧化铝粉末、有机溶剂、分散剂、烧结助剂、增塑剂与粘结剂混合均匀，得到氧化铝浆料；2将所述氧化铝浆料进行喷雾造粒，得到复合氧化铝粉末；3将所述复合氧化铝粉末进行模压成型，得到氧化铝模压毛坯；4将所述氧化铝模压毛坯依次进行冷等静压与机加工，得到氧化铝毛坯片；5准备三块所述氧化铝毛坯片分别作为氧化铝基底层、氧化铝中间层与氧化铝吸附层，在所述氧化铝基底层的一侧通过丝网印刷制备电介质层，在所述氧化铝吸附层的一侧通过丝网印刷制备加热层；6按照所述氧化铝基底层、所述氧化铝中间层与所述氧化铝吸附层的顺序进行层叠，使得所述电介质层、所述加热层分别与所述氧化铝中间层相接触，经过烧结，得到静电吸盘用氧化铝陶瓷片。
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权利要求：
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