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申请/专利权人：苏州迈为科技股份有限公司
摘要：本发明提供了一种载板的实时可清洗次数、镀膜次数的计算方法及系统，涉及太阳能电池制备设备技术领域。本发明的载板的实时可清洗次数的计算方法包括获得每一掩膜单元的上开口的实际尺寸、每一掩膜单元的下开口的实际尺寸和目标物的最小尺寸；得到最小掩膜量；根据最小掩膜量得到每一掩膜单元的腐蚀余量；根据每一掩膜单元的腐蚀余量得到每一掩膜单元的实时可清洗次数；根据每一掩膜单元的实时可清洗次数得到载板的实时可清洗次数。通过该载板的实时可清洗次数的计算方案计算载板的可清洗次数来判断载板是否可继续使用，进而避免目标物在置于载板上时因载板下开口尺寸太大而掉落，进而导致目标物损坏，增加成本的情况。
主权项：1.一种载板实时可清洗次数的计算方法，其特征在于，所述载板包括至少一个掩膜单元，每一所述掩膜单元包括上开口和下开口，所述上开口的尺寸大于所述下开口的尺寸并形成支撑平台，目标物置于对应的所述掩膜单元的所述支撑平台上，以对所述目标物进行掩膜，进而在所述目标物底部沉积功能层；所述载板清洗次数的计算方法包括：获得每一所述掩膜单元的上开口的实际尺寸、每一所述掩膜单元的下开口的实际尺寸和所述目标物的最小尺寸；根据每一所述掩膜单元的上开口的实际尺寸、每一所述掩膜单元的下开口的实际尺寸和所述目标物的最小尺寸得到最小掩膜量；根据所述最小掩膜量得到每一所述掩膜单元的腐蚀余量；根据每一所述掩膜单元的所述腐蚀余量得到每一所述掩膜单元的实时可清洗次数；根据每一所述掩膜单元的实时可清洗次数得到所述载板的实时可清洗次数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州迈为科技股份有限公司 载板的实时可清洗次数、镀膜次数的计算方法及系统
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