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申请/专利权人：库奥克斯有限公司
摘要：公开了一种用于由材料堆叠100制造器件的方法。材料堆叠100包括位于第二层120上的第一层110。该方法包括：提供310材料堆叠100；在第一层110的表面上创建320第一掩膜；对第一掩模进行图案化325；对第一层110进行第一刻蚀步骤330至预定义终点，并且由此构建保留材料的区域115；对第一层110进行第二刻蚀步骤350以从保留材料的区域115之间的第一层110中去除剩余材料；在第二层120的表面上创建360第二掩模；对第二掩模进行图案化370；以及对第二层120的材料进行刻蚀380。
主权项：1.一种用于由材料堆叠100制造器件的方法，所述材料堆叠100包括布置在第二层120上的第一层110，所述方法包括：-提供310所述材料堆叠100；-在所述第一层110的表面上创建320第一掩膜；-对所述第一掩模进行图案化325；-对所述第一层110进行第一刻蚀步骤330至预定义终点，并且由此构建保留材料的区域115；-对所述第一层110进行第二刻蚀步骤350以从所述保留材料的区域115之间的第一层110中去除剩余材料；-在所述第二层120的表面上创建360第二掩模；-对所述第二掩模进行图案化370；以及-对所述第二层120的材料进行刻蚀380。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 库奥克斯有限公司 用于衬底上的薄膜层的制造方法
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