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基于CRDS的产物采样装置、产物检测系统和产物检测方法 

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申请/专利权人:浙江华电器材检测研究院有限公司

摘要:本申请公开了一种基于CRDS的产物采样装置、产物检测系统和产物检测方法,基于CRDS的产物采样装置包括等离子体催化反应器、气体隔离室、配气室、光腔连接室、驱动泵;其中,配气室的第一进口设置第二阀门,第二进口连接反应气体的气体流道的末端,反应气体的气体流道中依次设置第一阀门、等离子体催化反应器、气体隔离室;配气室的出口连接光腔连接室进口;驱动泵驱动气体从配气室向光腔连接室流动;光腔连接室通过两个相对分布的接口固定在直线型的光腔的中部。本申请提供的技术方案解决了等离子体催化气体产物采样过程中,等离子体催化反应器和光腔压力不稳定的问题,避免了催化剂进入光腔,优化了激光分析环境,延长了光腔的寿命。

主权项:1.一种基于CRDS的产物采样装置4,其特征在于,包括等离子体催化反应器41、气体隔离室42、配气室43、光腔连接室44、驱动泵45;所述等离子体催化反应器41的气体进口设置第一阀门48,气体出口连接所述气体隔离室42的进口;所述气体隔离室42设有用于防止所述等离子体催化反应器41中的催化剂进入所述配气室43中的隔离部;当所述第一阀门48打开,所述等离子体催化反应器41的压力大于所述配气室43的压力,以使等离子体催化气体产物从所述等离子体催化反应器41向所述配气室43流动;所述配气室43的第一进口设有第二阀门47,第二进口连接所述气体隔离室42的出口;第二阀门47起到调节平衡气体b流量和压力的作用,从气体隔离室42流入的等离子体催化气体产物与平衡气体b在配气室43的腔体内充分混合,并一起流入下游的光腔连接室44;所述光腔连接室44设有第一接口、第二接口、与所述配气室43的出口连接的进口,所述第一接口和所述第二接口相对分布,所述第一接口和所述第二接口用于固定在直线型的光腔3的中部;所述驱动泵45设置在所述配气室43后方的气体管路上,用于驱动气体从所述配气室43向所述光腔连接室44流动;所述驱动泵45的进口与所述光腔连接室44的出口密封连接;还包括废气处理室46,所述废气处理室46的进口与所述驱动泵45的出口连接;还包括第一压力检测装置和第二压力检测装置,所述第一压力检测装置设置在所述等离子体催化反应器41上,所述第二压力检测装置设于所述驱动泵45的进口和或所述配气室43;所述第二压力检测装置有两个,二者分别设于所述驱动泵45的进口和所述配气室43;等离子体催化反应器(41)底部采用绝缘材质布风板;所述隔离部包括布风板和绝缘物质,所述布风板设于所述气体隔离室42的进口和出口,所述绝缘物质填充于所述气体隔离室42的内部;激光在光腔(3)内会产生多次反射,每次反射后在凸面镜处会漏出部分光,当激光在腔内形成稳定谐振后,在凸面镜处输出稳定的激光束到激光检测器(5),当检测器检测到激光超过一定阈值后,即由信号处理和控制模块发出控制信号,通过电流调制关断激光器(1),此时腔内的激光在两个腔镜之间来回反射,每次反射光强都会因为腔镜透射、衍射、样品的吸收而减弱,激光检测器(5)可探测到透射光强随时间的变化。

全文数据:

权利要求:

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