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申请/专利权人：索泰克公司
摘要：本发明涉及一种将有用层转移到载体衬底上的方法，包括以下步骤：a提供包括埋置弱化面的施主衬底，有用层由施主衬底的正面和埋置弱化面来界定；b提供载体衬底；c由施主衬底的正面将施主衬底沿接合界面结合到载体衬底以形成接合结构；d对接合结构进行退火，以对接合结构施加弱化热预算并且使埋置弱化面达到限定的弱化程度，所述退火达到最高保持温度；e通过对接合结构施加应力来在埋置弱化面中引发分裂波，分裂波以自维持的方式沿埋置弱化面传播以造成有用层转移到载体衬底。步骤e中的引发发生在接合结构正经历限定所述接合结构的热区域和冷区域的热梯度、应力局部施加在冷区域中时，并且热区域经历的温度低于最高保持温度。
主权项：1.一种将有用层（3）转移到载体衬底（4）上的转移方法，所述转移方法包括以下步骤：a）提供包括埋置弱化面（2）的施主衬底（1），所述有用层（3）由所述施主衬底（1）的正面（1a）和所述埋置弱化面（2）来界定；b）提供载体衬底（4）；c）由所述施主衬底（1）的所述正面（1a）将所述施主衬底（1）沿接合界面（7）结合到所述载体衬底（4）以形成接合结构（5）；d）对所述接合结构（5）进行退火，以对所述接合结构（5）施加弱化热预算并且使所述埋置弱化面（2）达到限定的弱化程度，所述退火达到最高保持温度；e）通过对所述接合结构（5）施加应力来在所述埋置弱化面（2）中引发分裂波，所述分裂波以自维持的方式沿所述埋置弱化面（2）传播以造成所述有用层（3）转移到所述载体衬底（4）；所述转移方法的特征在于：步骤e）中的所述引发发生在所述接合结构（5）正经历限定所述接合结构（5）的热区域和冷区域的热梯度时，其中，所述应力局部施加在所述冷区域中，并且其中，所述热区域经历的温度低于所述最高保持温度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 索泰克公司 将有用层转移到载体衬底的方法
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