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申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：本发明涉及使用喷头电压变化的故障检测。提供了用于检测等离子体处理系统的处理状态的方法和系统。一方法包括：从射频RF功率源向等离子体处理系统的喷头提供RF功率以及在布置在等离子体处理系统中的衬底运行处理操作。该方法还包括：使用串联式连接在RF功率源和喷头之间的电压探针感测喷头的电压。在处理操作的运行期间，电压的感测产生电压值。该方法包括：将电压值与被预定义用于正在运行的处理操作的电压检查带进行比较。该比较被配置为检测电压值在电压检查带之外的时间。该方法还包括：当该比较检测到电压值在电压检查带之外时生成警报。警报进一步被配置为基于被预定义的用于处理操作的电压检查带识别故障的类型。
主权项：1.一种用于检测等离子体处理系统的状态的方法，其包括，从射频功率源向所述等离子体处理系统的多个站中的每个站的喷头提供射频功率；在布置在所述等离子体处理系统的所述多个站中的每个站中的衬底上运行处理操作；在所述多个站中的每个站，使用串联式连接在所述射频功率源和所述喷头之间的电压探针感测所述喷头的RF电压一段时间，在所述处理操作的所述运行期间，在所述多个站中的每个站所述RF电压的所述感测产生RF电压值；对于每个站，将所述RF电压值与电压检查带进行比较，该电压检查带是通过为正在运行的处理操作执行的校准操作预定义的并且基于基准站电压,所述比较用于识别在哪个站所产生的RF电压值在所述电压检查带之外。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 使用喷头电压变化的故障检测
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