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申请/专利权人：佳能株式会社
摘要：本发明公开了图案化方法、光刻装置和物品制造方法。光刻装置检测关于要在光刻装置中通过使用第一原版执行图案化的一部分压射区域布置的多个第一基板侧标记，并且检测关于要在另一光刻装置中通过使用与第一原版不同的第二原版执行图案化的与所述一部分压射区域不同的其它压射区域布置的多个第二基板侧标记。光刻装置输出关于所述多个第二基板侧标记的检测结果的信息以使得可用于其它光刻装置。然后，基于多个第一基板侧标记的检测结果，光刻装置在执行第一原版关于所述一部分压射区域的对准的同时执行图案化。
主权项：1.一种通过使用光刻装置执行用于在基板上形成原版的图案的图案化的图案化方法，所述方法包括：检测布置在所述基板上的标记（631-656）；获得指示另一光刻装置对所述标记（631-656）的检测结果的标记位置信息；以及基于在所述检测中所述标记的检测结果和在所述获得中获得的所述另一光刻装置对所述标记的检测结果执行图案化，其中，所述标记（631-656）与针对所述另一光刻装置形成的压射区域提供的标记（611-626）不同。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 佳能株式会社 图案化方法、光刻装置和物品制造方法
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