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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：公开了一种平台装置，包括：短冲程平台；长冲程平台；第一传感器，所述第一传感器被配置成用于测量所述短冲程平台相对于基准的位置，所述基准被布置成不在所述短冲程平台上并且不在所述长冲程平台上；一个或多个滚柱轴承，其被配置成支撑所述长冲程平台；以及控制器，其用于至少部分地基于来自所述第一传感器的测量来控制所述长冲程平台的移动和所述短冲程平台的移动，以便跟随所述基准的移动，其中所述控制器可操作使得：在所述平台装置的至少部分操作中，所述长冲程平台的控制与所述基准的所述移动解耦，以减少所述一个或多个滚柱轴承的碎屑产生。
主权项：1.一种平台装置，包括：短冲程平台；长冲程平台；第一传感器，被配置成测量所述短冲程平台相对于基准的位置，所述基准被布置成不在所述短冲程平台上并且不在所述长冲程平台上；一个或多个滚柱轴承，被配置成支撑所述长冲程平台；以及控制器，所述控制器用于至少部分地基于来自所述第一传感器的测量，来控制所述长冲程平台的运动和所述短冲程平台的运动，以便跟随所述基准的移动，其中所述控制器能够操作使得：在所述平台装置的至少部分操作中，所述长冲程平台的所述运动的控制与所述基准的所述移动被解耦，以用于减少所述一个或多个滚柱轴承的碎屑产生；其中所述控制器能够操作地用于在至少第一操作模式与第二操作模式之间切换控制，其中在所述第一操作模式中，所述控制器能够操作地用于：参考所述基准控制所述短冲程平台；以及参考所述短冲程平台来控制所述长冲程平台，以及其中所述控制器能够操作地用于在确定所述平台装置基本上处于静止时将控制从所述第一操作模式切换到所述第二操作模式；其中所述第二操作模式包括参考不同于所述短冲程平台的基准来操作所述长冲程平台。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 用于改善滚柱轴承寿命的平台抗微振机构
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