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一种普氩提纯至高纯氩装置 

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申请/专利权人:大庆市腾运气体有限公司

摘要:本实用新型公开了一种普氩提纯至高纯氩装置,包括低温液体储罐和若干吸附塔组,所述低温液体储罐依次通过液体泵、汽化器和冷水机并联全部吸附塔组,全部所述吸附塔组并联纯度检测机构,且纯度检测机构并联用户端和放空端;所述吸附塔组包括依次接通的入口阀、吸附塔和出口阀。本装置利用吸附剂的吸附能力随着压力的升高而升高,随着压力的降低而降低的特点,利用真空泵抽真空使吸附器压力降至最低点,用气体吹扫使吸附剂使其恢复吸附能力。从原有的高温解析方式改为变压解析方式,达到了降低安全隐患,增加设备安全运转率,节能减排的效果。

主权项:1.一种普氩提纯至高纯氩装置,其特征在于:包括低温液体储罐1和若干吸附塔组5,所述低温液体储罐1依次通过液体泵2、汽化器3和冷水机4并联全部吸附塔组5,全部所述吸附塔组5并联纯度检测机构8,且纯度检测机构8并联用户端15和放空端16;所述吸附塔组5包括依次接通的入口阀52、吸附塔51和出口阀53。

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权利要求:

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