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申请/专利权人：深圳卓斌电子有限公司
摘要：本实用新型提供晶圆探针卡自动更换机构，涉及晶圆测试技术领域。该晶圆探针卡自动更换机构，包括箱体，所述箱体内部设有底板，所述底板顶部设有推板，所述底板顶部设有用于推板平移的平移组件，所述底板顶部设有连接板，所述底板顶部设有用于连接板升降的升降组件，所述底板内部设有齿轮，所述底板顶部设有用于齿轮转动的传动组件。该晶圆探针卡自动更换机构，通过第一丝杆转动带动推板平移进而带动第一晶圆探针卡平移，解决了在更换过程中由于第一晶圆探针卡偏移或晃动进而对更换效果造成影响的问题，提高了器械的稳定性和更换效果。
主权项：1.晶圆探针卡自动更换机构，包括箱体1，其特征在于：所述箱体1内部设有底板2，所述底板2顶部设有推板7，所述底板2顶部设有用于推板7平移的平移组件，所述底板2顶部设有连接板17，所述底板2顶部设有用于连接板17升降的升降组件，所述底板2内部设有齿轮21，所述底板2顶部设有用于齿轮21转动的传动组件。
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百度查询： 深圳卓斌电子有限公司 晶圆探针卡自动更换机构
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