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申请/专利权人：深圳格芯集成电路装备有限公司
摘要：本实用新型属于物料输送设备技术领域，公开了一种送盘装置，其包括进出盘模组、进料顶升模组、退料顶升模组、退盘模组和料盘轨道模组；进出盘模组包括用于料盘固定的进出盘固定机构和用于将进出盘固定机构从进盘位转移至工作位的正下方和等待位的正下方的进出盘运输轨道机构；进料顶升模组设置在工作位的下方，且进料顶升模组能够承托进出盘固定机构上的料盘顶升至工作位；退盘模组设置在料盘轨道模组的侧旁，且退盘模组能够将料盘轨道模组上的料盘从工作位转移至等待位；退料顶升模组设置在等待位的下方，且退料顶升模组能够承托等待位上的料盘下降至进出盘固定机构上。采用本实用新型，结构紧凑、占用场地少，不会影响料盘在下一个循环中使用。
主权项：1.一种送盘装置，其特征在于，包括进出盘模组、进料顶升模组、退料顶升模组、退盘模组和料盘轨道模组；所述进出盘模组设有进盘位，所述料盘轨道模组设有工作位和等待位；所述进盘位、等待位和工作位沿所述进出盘模组的进料方向依次布置；所述进出盘模组包括用于料盘固定的进出盘固定机构和用于将所述进出盘固定机构从所述进盘位转移至所述工作位的正下方和所述等待位的正下方的进出盘运输轨道机构；所述进料顶升模组设置在所述工作位的下方，且所述进料顶升模组能够承托所述进出盘固定机构上的料盘顶升至所述工作位；所述退盘模组设置在所述料盘轨道模组的侧旁，且所述退盘模组能够将所述料盘轨道模组上的料盘从所述工作位转移至所述等待位；所述退料顶升模组设置在所述等待位的下方，且所述退料顶升模组能够承托所述等待位上的料盘下降至所述进出盘固定机构上。
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权利要求：
百度查询： 深圳格芯集成电路装备有限公司 一种送盘装置
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