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一种防溅射单晶炉用加料筒 

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申请/专利权人:常州渊栋电力设备有限公司

摘要:本实用新型涉及单晶炉技术领域,尤其涉及一种防溅射单晶炉用加料筒,包括筒体与固定在筒体顶端的气缸,所述筒体底部设置有锥形堵,气缸的输出端通过连接杆与锥形堵固定连接;所述筒体下端外壁上周向设置有多块挡板,挡板的一端与筒体铰接连接,且挡板的内侧铰接有推杆,所述推杆贯穿筒体并与筒体滑动配合,且推杆的内端与所述连接杆铰接连接。本装置在气缸带动锥形堵打开对硅料进行添加的同时,会使多块挡板呈扇形状打开,对加料时的溅射进行遮挡,减少硅溶液溅射至炉体内壁而造成其损坏的因素。

主权项:1.一种防溅射单晶炉用加料筒,包括筒体1与固定在筒体1顶端的气缸2,其特征在于,所述筒体1底部设置有锥形堵4,气缸2的输出端通过连接杆5与锥形堵4固定连接;所述筒体1下端外壁上周向设置有多块挡板11,挡板11的一端与筒体1铰接连接,且挡板11的内侧铰接有推杆9,所述推杆9贯穿筒体1并与筒体1滑动配合,且推杆9的内端与所述连接杆5铰接连接。

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