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申请/专利权人：株式会社迪思科
摘要：本发明提供观察方法、显微镜以及加工装置，在使用具有透过被加工物的波长的照明光透过正面侧被保持而背面侧露出的被加工物的背面来拍摄正面侧的情况下，与同轴落射照明和以往的斜光照明相比，增多到达正面侧的光量。观察方法向板状的被观察物的一个面照射光并观察被观察物的另一个面或被观察物的内部，观察方法具有如下工序：保持工序，利用保持工作台的保持面来保持被观察物的另一个面侧；和检测工序，在保持工序之后，将来自照射具有透过被观察物的波长的光的照明单元的光的聚光点定位于另一个面或内部的规定位置，从照明单元向被观察物照射光，利用包含具有相对于聚光透镜的光轴倾斜地配置的光轴的物镜的拍摄单元来检测来自被观察物的反射光。
主权项：1.一种观察方法，向板状的被观察物的一个面照射光，对该被观察物的位于该一个面的相反侧的另一个面或该被观察物的内部进行观察，其特征在于，该观察方法具有如下的工序：保持工序，利用保持工作台的保持面对该被观察物的该另一个面侧进行保持；以及检测工序，在该保持工序之后，在将来自照明单元的该光的聚光点定位于该另一个面或该内部的规定位置的状态下从该照明单元向该被观察物照射该光，并利用包含物镜的拍摄单元检测来自该被观察物的反射光，其中，该照明单元照射具有透过该被观察物的波长的该光，该物镜具有相对于聚光透镜的光轴倾斜地配置的光轴。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社迪思科 观察方法、显微镜以及加工装置
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