龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：信越化学工业株式会社
摘要：本发明为一种衬底基板，其在用于单晶金刚石层叠基板的衬底基板中，具有初始基板与在所述初始基板上的中间层，所述初始基板为单晶Si{111}基板、单晶α‑Al2O3{0001}基板等中的任意一种，所述初始基板的最外层表面无偏离角，或者相对于立方晶面取向{111}在晶轴‑1‑12方向具有偏离角，或者相对于六方晶面取向{0001}在晶轴10‑10或11‑20方向具有偏离角等。由此，提供一种可将单晶金刚石层制膜的衬底基板，所述单晶金刚石层能够适用于电气·磁力设备，面积大口径大，结晶性高且凸起、异常生长颗粒、位错缺陷等少，纯度高且应力低、品质高。
主权项：1.一种衬底基板，其特征在于，在用于单晶金刚石层叠基板的衬底基板中，具有：初始基板，其为单晶Si{111}基板、单晶Si{001}基板、单晶α-Al2O3{0001}基板、单晶α-Al2O3{11-20}基板、单晶Fe{111}基板、单晶Fe{001}基板、单晶Ni{111}基板、单晶Ni{001}基板、单晶Cu{111}基板及单晶Cu{001}基板中的任意一种；及所述初始基板上的中间层，所述中间层由包含单晶Ir膜、单晶MgO膜、单晶氧化钇稳定化氧化锆膜、单晶SrTiO3膜及单晶Ru膜中的至少任意一种的单层或层叠膜构成，所述初始基板的最外层表面无偏离角，或者相对于立方晶面取向{111}在晶轴-1-12方向具有偏离角，或者相对于六方晶面取向{0001}在晶轴10-10或11-20方向具有偏离角，或者相对于立方晶面取向{001}在晶轴110方向具有偏离角，或者相对于六方晶面取向{11-20}在晶轴10-10或0001方向具有偏离角。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 信越化学工业株式会社 衬底基板及单晶金刚石层叠基板以及它们的制造方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号