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申请/专利权人：南京原磊纳米材料有限公司
摘要：本申请涉及半导体器件的生产设备技术领域，提供一种真空环境下单轴运动的翻转台装置，翻转台装置包括：直线驱动机构、翻转轴、翻转机构和翻转执行端；直线驱动机构的运动末端设置有滑动体，翻转轴与滑动体转动连接，翻转执行端设置在翻转轴的末端；翻转机构包括导向台、拨叉、第一轴承和旋转臂；导向台上设置有导向面；拨叉滑动连接滑动体，拨叉的一端与导向面滚动或滑动接触，另一端设置有滑槽，滑槽通过第一轴承连接所述旋转臂的一端，旋转臂的另一端固定连接翻转轴。应用本申请的技术方案，通过单轴设置的驱动结构，实现晶圆承载盒的平移和翻转，从而能够提供结构相对简洁，且占用空间较小的驱动结构，以实现晶圆承载盒的直线输送和姿态旋转。
主权项：1.一种真空环境下单轴运动的翻转台装置，其特征在于，包括：直线驱动机构（1）、翻转轴（2）、翻转机构（3）和翻转执行端（4）；所述直线驱动机构（1）的运动末端设置有滑动体（5），所述翻转轴（2）与所述滑动体（5）转动连接，且翻转轴（2）的轴线平行于所述滑动体（5）的运动轨迹，所述翻转执行端（4）固定设置在所述翻转轴（2）的末端；所述翻转机构（3）包括导向台（31）、拨叉（32）、第一轴承（33）和旋转臂（34）；所述导向台（31）上设置有导向面（311），所述导向面（311）在所述翻转轴（2）的延伸方向上倾斜设置；所述拨叉（32）滑动连接所述滑动体（5），以跟随所述滑动体（5）运动，并可相对于所述滑动体（5）在竖直方向上运行；所述拨叉（32）的一端与所述导向面（311）滚动或滑动接触，另一端设置有滑槽（321），所述滑槽（321）滑动卡接所述第一轴承（33）的外圈，所述第一轴承（33）的内圈连接所述旋转臂（34）的一端，所述旋转臂（34）的另一端固定连接所述翻转轴（2）。
全文数据：
权利要求：
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