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申请/专利权人：江苏微导纳米科技股份有限公司
摘要：本发明公开沉积成膜的异常检测方法、沉积成膜方法及沉积成膜系统，其中，异常检测方法在沉积成膜步骤之前实施，包括：向反应腔通入检测气体，检测气体被配置为能够被电离形成检测等离子体，检测等离子体被配置为不与基片以及载具发生反应；控制启动射频电源；获取射频电源的特征信息,射频电源与载具电连接形成供电电路；判断特征信息是否存在异常,特征信息包括供电电路的电信号信息；在特征信息存在异常时，输出异常报警信息，并结束检测。上述异常检测方法在沉积成膜步骤之前执行，一旦确认存在异常，不再执行沉积成膜步骤，可较好地规避沉积成膜步骤执行过程中被意外中断所造成的大量返工等问题，基本不会对后续沉积成膜步骤带来不利影响。
主权项：1.沉积成膜的异常检测方法，其特征在于，所述异常检测方法在沉积成膜步骤之前实施，包括：向反应腔通入检测气体，所述检测气体被配置为能够被电离形成检测等离子体，所述检测等离子体被配置为不与基片以及载具发生反应；控制启动射频电源，所述射频电源与所述载具电连接形成供电电路；获取所述射频电源的特征信息，所述特征信息包括所述供电电路的电信号信息；判断所述特征信息是否存在异常；在所述特征信息存在异常时，输出异常报警信息，并结束检测。
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百度查询： 江苏微导纳米科技股份有限公司 沉积成膜的异常检测方法、沉积成膜方法及沉积成膜系统
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