买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：无锡邑文微电子科技股份有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司

摘要：本发明涉及自动导片技术领域，公开了一种ALD设备用自动导片装置，包括导片仓，固定连接于所述导片仓上的储片仓、预热仓以及反应仓，所述导片仓与储片仓、预热仓以及反应仓的连接处均设置有导片口，所述储片仓内设置有能够根据硅片尺寸调节大小的片架，所述片架上固定安装有若干个用于放置硅片的支撑片，所述片架两侧固定安装有磁条，每个所述磁条一端均设置成圆弧形，此自动导片装置，利用磁条对磁柱的吸引，使磁柱回缩入滑动件内，卡槽解除对磁柱的限位，再通过磁柱圆弧面与滑动件圆弧面接触后，对滑动件的位置进行调整，带动其上承托条以及承托块进行运动，使承托条以及承托块的尺寸与硅片尺寸匹配，能够有效对不同尺寸的硅片进行限位。

主权项：1.一种ALD设备用自动导片装置，包括导片仓（1），固定连接于所述导片仓（1）上的储片仓（2）、预热仓（3）以及反应仓（4），其特征在于：所述导片仓（1）与储片仓（2）、预热仓（3）以及反应仓（4）的连接处均设置有导片口（15），所述储片仓（2）内设置有能够根据硅片尺寸调节大小的片架（5），所述片架（5）上固定安装有若干个用于放置硅片的支撑片（6），所述片架（5）两侧固定安装有磁条（36），每个所述磁条（36）一端均设置成圆弧形；所述导片仓（1）内固定安装有电动转盘（26），所述电动转盘（26）上固定安装有伸缩气缸（27），所述伸缩气缸（27）的输出端固定安装有滑轨（28），所述滑轨（28）内对称滑动安装有两个滑动件（37），每个所述滑动件（37）一端也设置成圆弧形，且其圆弧半径大于磁条（36）端部圆弧的半径，每个所述滑动件（37）内均滑动安装有与磁条（36）相吸引的磁柱（40），每个所述磁柱（40）一端与对应滑动件（37）之间均固定连接有第三弹簧（39），所述滑轨（28）内壁上设置有若干个用于对磁柱（40）进行限位的卡槽（29），每个所述滑动件（37）上均通过电动伸缩柱（42）固定安装有承托条（43），每个所述承托条（43）内均滑动安装有承托块（45）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 无锡邑文微电子科技股份有限公司 江苏邑文微电子科技有限公司 一种ALD设备用自动导片装置