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申请/专利权人：深圳市卓兴半导体科技有限公司
摘要：本发明属于固晶机技术领域，具体涉及一种立式转塔巨量转移固晶机，该一种立式转塔巨量转移固晶机，包括底座、清洁机构、防溅部和吸尘部，清洁机构固定在底座上，清洁机构包括固定座、竖直气缸、固定板、水平气缸、固定架、电机、清洁刷和储杂盒，固定座固定在底座的上端。该发明，在清洁拾取头时，通过防溅部对清洁刷周围形成防护圈，避免在清洁刷旋转时使拾取头上的杂质飞溅到设备的各处，以保障清洁时的洁净度，避免杂质对设备造成影响；在清洁刷旋转对拾取头清洁时，通过吸尘部吸收从拾取头上飞溅的杂质，以减小杂质的飞溅幅度，提升杂质的收集效果；在对清洁刷进行更换时，通过快拆部可快速地对清洁刷进行拆卸安装，以减小设备的维护时间。
主权项：1.一种立式转塔巨量转移固晶机，其特征在于：包括：底座（1）；清洁机构（10），所述清洁机构（10）固定在底座（1）上，所述清洁机构（10）包括固定座（11）、竖直气缸（12）、固定板（13）、水平气缸（14）、固定架（15）、电机（16）、清洁刷（17）和储杂盒（18），所述固定座（11）固定在底座（1）的上端，所述竖直气缸（12）固定在固定座（11）的外侧，所述固定板（13）固定在竖直气缸（12）的输出端，所述水平气缸（14）固定在固定板（13）的上端，所述固定架（15）固定在电机（16）的输出端，所述电机（16）固定在固定架（15）远离水平气缸（14）的一侧，所述清洁刷（17）安装在电机（16）的输出端，所述储杂盒（18）固定在固定架（15）远离水平气缸（14）的一侧且位于清洁刷（17）的下部；防溅部（20），所述防溅部（20）安装在储杂盒（18）上，所述防溅部（20）用于在清洁刷（17）清洁时减小杂质的飞溅；吸尘部（40），所述吸尘部（40）安装在储杂盒（18）上，所述吸尘部（40）用于在清洁刷（17）清洗时吸取杂质。
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权利要求：
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