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申请/专利权人：株式会社荏原制作所
摘要：信息处理装置5具备信息取得部500和状态预测部501，该信息取得部取得研磨处理状态信息，该研磨处理状态信息包含通过基板处理装置进行的基板的化学机械研磨处理中的表示研磨中的顶环的振动的顶环振动信息、表示研磨中的从顶环发生的声音的顶环声音信息，该基板处理装置具备将研磨垫支承为能够旋转的研磨台和将基板按压于研磨垫的顶环，该状态预测部向学习模型10A输入通过信息取得部500取得的研磨处理状态信息，从而预测对应于该研磨处理状态信息的基板滑出信息，该学习模型通过机器学习而学习了研磨处理状态信息与基板滑出信息的相关关系，该基板滑出信息表示进行化学机械研磨处理的基板发生滑出。
主权项：1.一种信息处理装置，其特征在于，具备信息取得部和状态预测部，该信息取得部取得研磨处理状态信息，该研磨处理状态信息包含通过基板处理装置进行的基板的化学机械研磨处理中的表示研磨中的顶环的振动的顶环振动信息和表示研磨中的从所述顶环发生的声音的顶环声音信息，所述基板处理装置具备将研磨垫支承为能够旋转的研磨台和将所述基板按压于所述研磨垫的所述顶环，该状态预测部向学习模型输入通过所述信息取得部取得的所述研磨处理状态信息，从而预测对应于该研磨处理状态信息的基板滑出信息，所述学习模型通过机器学习而学习了所述研磨处理状态信息与所述基板滑出信息的相关关系，所述基板滑出信息表示进行所述化学机械研磨处理的所述基板发生滑出。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社荏原制作所 信息处理装置、推论装置、机器学习装置、信息处理方法、推论方法及机器学习方法
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