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申请/专利权人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司
摘要：本发明涉及一种研磨定盘维护装置，研磨定盘包括研磨面，研磨面上设置有多个沟槽，在沟槽的宽度方向上，沟槽包括中间区域和位于中间区域的相对的两侧的边角区域；维护装置包括研磨定盘清洁结构，研磨定盘清洁结构包括第一清洁头、第二清洁头和第三清洁头，在第一方向上，第一清洁头和的第三清洁头位于第二清洁头的相对的两侧，第一清洁头和第三清洁头分别被配置为能够伸入沟槽，以清洁边角区域，第二清洁头被配置为能够伸入沟槽以清洁中间区域，在对沟槽进行清洁时，第一方向与沟槽的宽度方向相平行；移动控制单元，被配置为控制研磨定盘清洁结构在第二方向上移动，以清洁沟槽，第二方向与第一方向相垂直。本发明还涉及一种研磨定盘维护方法。
主权项：1.一种研磨定盘维护装置，其特征在于，研磨定盘包括研磨面，所述研磨面上设置有多个沟槽，在所述沟槽的宽度方向上，所述沟槽包括中间区域和位于所述中间区域的相对的两侧的边角区域；所述维护装置包括研磨定盘清洁结构，所述研磨定盘清洁结构包括用于对沟槽内部进行清洁的第一清洁头、第二清洁头和第三清洁头，在第一方向上，所述第一清洁头和所述的第三清洁头位于所述第二清洁头的相对的两侧，所述第一清洁头和所述第三清洁头分别被配置为能够伸入到所述沟槽内，以清洁所述边角区域，所述第二清洁头被配置为能够伸入到所述沟槽内以清洁所述中间区域，在对所述沟槽进行清洁时，所述第一方向与所述沟槽的宽度方向相平行；移动控制单元，被配置为控制所述研磨定盘清洁结构在第二方向上移动，以清洁所述沟槽，所述第二方向与所述第一方向相垂直。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 西安奕斯伟硅片技术有限公司 研磨定盘维护装置及其维护方法
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