买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
申请/专利权人:比亚迪股份有限公司
摘要:本申请涉及一种表面活性剂、显影液及其应用和制备方法,其中表面活性剂包括:10份至500份的聚氧乙烯油醚、1份至100份的仲醇聚氧乙烯醚。本申请的有益效果在于提供了一种既能改善显影液的浸润性能又能有效抑制气泡产生的表面活性剂、显影液及其应用和制备方法。
主权项:1.一种表面活性剂,其特征在于,所述表面活性剂按照质量份数包括:聚氧乙烯油醚10份至500份;仲醇聚氧乙烯醚1份至100份。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 比亚迪股份有限公司 表面活性剂、显影液及其应用和制备方法、半导体器件
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。