龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：江阴市导润光学科技有限公司
摘要：本发明公开了一种可微调靶基高度且可装载多厚度基片工装，环状框体，其与基片的直径相配合，构成容纳基片并且周向包围的结构，环状框体的一侧设有对基片边沿卡挡限位的挡沿部；安装板，其置于环状框体内构成对基片装载定位的基准面；安装板朝向基片一面与基片之间设有一定间距构成调节舱，调节舱内设有弹性压紧装置。本发明一种可微调靶基高度且可装载多厚度基片工装实现了一个厚度范围的基片装载能力，兼容范围较大，可以适用于装载0~4.5mm的基片范围，本发明的镜面压板可以对超薄基片产生吸附，即利用镜面压板的镜面与基片的光滑表面之间可以产生范德华力形成吸附效果，使基片吸附在镜面压板上，从而有效防止基片在镀膜过程产生的应力变形。
主权项：1.一种可微调靶基高度且可装载多厚度基片工装，其特征在于，环状框体（1），其与基片（2）的直径相配合，构成容纳基片（2）并且周向包围的结构，环状框体（1）的一侧设有对基片（2）边沿卡挡限位的挡沿部（3）；环状框体（1）内壁设有内凹的环形定位槽（4）；安装板（5），其直径与环状框体（1）内径相配合，并且置于环状框体（1）内构成对基片（2）装载定位的基准面，安装板（5）对基片（2）的平面一侧形成遮挡，安装板（5）与环状框体（1）形成对基片（2）周围以及一侧面的封闭，而使基片（2）另一侧面呈敞开，该敞开侧面为镀膜面（6）；安装板（5）朝向基片（2）一面与基片（2）之间设有一定间距构成调节舱（7），调节舱（7）内设有弹性压紧装置（8）；安装板（5）远离基片（2）一侧面为吸附面（9），所述吸附面（9）上设有位置高度可调节的吸环结构（10）；所述吸环结构（10）的外部周围设有定位装置（11）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江阴市导润光学科技有限公司 一种可微调靶基高度且可装载多厚度基片工装
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号