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申请/专利权人：极光先进雷射株式会社
摘要：本公开的1个观点的激光装置被用于通过在含有氧的气体中对被加工物照射激光来进行激光加工的激光加工系统，其中，该激光装置具有：固体振荡器，其包含输出如下激光的固体激光装置，该激光具有100ps以上且1ns以下的范围内的脉冲宽度，且在ArF准分子激光装置的振荡波段具有偏离了氧的吸收线的中心波长；ArF准分子放大器，其对从固体振荡器输出的激光进行放大；以及第1光学脉冲展宽器，其输出通过使被ArF准分子放大器放大后的激光在延迟光路环绕从而被分割成多个脉冲而突发脉冲化的激光。
主权项：1.一种激光装置，其被用于通过在含有氧的气体中对被加工物照射激光来进行激光加工的激光加工系统，其中，所述激光装置具有：固体振荡器，其包含输出如下激光的固体激光装置，该激光具有100ps以上且1ns以下的范围内的脉冲宽度，且在ArF准分子激光装置的振荡波段具有偏离了氧的吸收线的中心波长；ArF准分子放大器，其对从所述固体振荡器输出的激光进行放大；以及第1光学脉冲展宽器，其输出通过使被所述ArF准分子放大器放大后的激光在延迟光路环绕从而被分割成多个脉冲而突发脉冲化的激光。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 极光先进雷射株式会社 激光装置、激光加工系统和激光加工方法
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