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申请/专利权人：哈尔滨工业大学
摘要：一种碳化硅陶瓷深小孔的超精密加工方法，属于机械加工技术领域，具体包括以下步骤：步骤一、将碳化硅陶瓷块固定在超声辅助磨削机床上；步骤二、在轴向超声振动作用下加工若干个与刀具同直径的深小孔Ⅰ，并留出余量Ⅰ；刀具进给速度为25‑35mmmin，主轴转速为6000‑10000rpm，在入口处降低进给速度至20mmmin，增大主轴转速至10000rpm；步骤三、在出口处降低进给速度至20mmmin，增大主轴转速至10000rpm，并留出余量Ⅱ；步骤四、在轴向超声振动作用下去除余量Ⅰ和余量Ⅱ，刀具进给速度为15‑20mmmin，主轴转速为8000‑10000rpm，获得碳化硅陶瓷深小孔Ⅱ。
主权项：1.一种碳化硅陶瓷深小孔的超精密加工方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、将碳化硅陶瓷块进行打磨和抛光处理，并固定在超声辅助磨削机床上；步骤二、在轴向超声振动作用下加工若干个与刀具同直径的深小孔Ⅰ，并留出余量Ⅰ；若干个所述深小孔Ⅰ均布在待加工的深小孔Ⅱ的中心处且相互交叠，所述待加工的深小孔Ⅱ的深度和直径比大于5，刀具进给速度为25mmmin-35mmmin，主轴转速为6000rpm-10000rpm，在入口处降低进给速度至20mmmin，增大主轴转速至10000rpm；步骤三、在出口处降低进给速度至20mmmin，增大主轴转速至10000rpm，并留出余量Ⅱ；余量Ⅱ的宽度d2大于余量Ⅰ的宽度d1，所述余量Ⅰ与余量Ⅱ呈阶梯状；步骤四、在轴向超声振动作用下去除余量Ⅰ和余量Ⅱ，刀具进给速度为15mmmin-20mmmin，主轴转速为8000rpm-10000rpm，获得碳化硅陶瓷深小孔Ⅱ。
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