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申请/专利权人：中电环宇(北京)建设工程有限公司

摘要：本申请涉及一种半导体厂房用洗涤塔，其包括中空结构的塔身和安装在塔身内的喷淋系统，喷淋系统喷淋废气洗涤液，喷淋系统向下喷淋，塔身上设置有废气出口和废气入口，废气出口位于喷淋系统的上方，废气入口位于喷淋系统下方；废气入口设置在塔身靠近底部的侧壁，塔身内的留存有部分废气洗涤液。本申请具有洗涤效率高，洗涤效果好，换液方便和高效利用的效果。

主权项：1.一种半导体厂房用洗涤塔，包括中空结构的塔身（1）和安装在塔身（1）内的喷淋系统（2），喷淋系统（2）喷淋废气洗涤液，喷淋系统（2）向下喷淋，塔身（1）上设置有废气出口（11）和废气入口（15），废气出口（11）位于喷淋系统（2）的上方，废气入口（15）位于喷淋系统（2）下方，其特征在于：所述废气入口（15）设置在塔身（1）靠近底部的侧壁，塔身（1）内的留存有部分废气洗涤液；所述塔身（1）下半部分水平安装有多个隔板（13），隔板（13）竖向排布，隔板（13）与一侧的塔身（1）内壁之间留有间隔，且相邻的隔板（13）与塔身（1）之间的间隔位于塔身（1）相对一侧；还包括储存塔身（1）中多余废气洗涤液的蓄液池（3），塔身（1）与蓄液池（3）之间设置有溢水管（12）；所述喷淋系统（2）的入液口与蓄液池（3）连通；所述废气入口（15）连接有废气管（151），废气管（151）的入口的水平高度高于溢水管（12）的内壁底部；所述塔身（1）内还水平设置有带孔隔板（131），带孔隔板（131）的上沿低于废气洗涤液的液面或与废气洗涤液的液面齐平；所述塔身（1）还包括用于更换或补充废气洗涤液的补液机构（14）；所述塔身（1）的横截面为矩形设置；补液机构（14）包括垂直于隔板（13）设置的补液隔板（142），补液隔板（142）还垂直于与隔板（13）之间有间隙的塔身（1）侧壁；补液隔板（142）与塔身（1）内壁底面和隔板（13）之间有间隙的塔身（1）侧壁贴合设置；补液隔板（142）与塔身（1）滑动连接，滑动连接的滑动方向为垂直于补液隔板（142）的方向；补液机构（14）还包括两处补液入口（141）和两处废液出口（143），两处补液入口（141）分别设置在与补液隔板（142）平行的两处侧壁上；两处废液出口（143）也分别设置在与补液隔板（142）平行的两处侧壁上。

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