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复合膜电磁屏蔽的电容式声换能器及制造方法 

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申请/专利权人:中北大学

摘要:本发明为一种复合膜电磁屏蔽的电容式声换能器及制造方法,该方法可用于制造麦克风和超声换能器。该电容式声换能器由下而上依次为基底层、交替设置的介质层及金属层、钝化层,第(n‑2)层介质层上刻蚀有空腔,空腔顶部形成复合振膜及上电极、底部形成下电极。该电容式声换能器有金属层包裹可形成电磁屏蔽,极大的增强了抗干扰能力,该换能器具有稳定性高,一致性好等优点,制造方法简单且成本低、可批量化生产。

主权项:1.一种复合膜电磁屏蔽的电容式声换能器,其特征在于:包括基底层,基底层上由下而上依次设置有第一层介质层、第一层金属层、第二层介质层、第二层金属层、......、第(n-1)层介质层、第(n-1)层金属层、第n层介质层、第n层金属层,n≥6;相邻的各层金属层之间通过钨塞互连,第n层金属层上设置有钝化层,钝化层上设置有上电极焊点和下电极焊点;第(n-2)层介质层上刻蚀有一个空腔,空腔顶部的钝化层、第n层金属层、第n层介质层、第(n-1)层金属层、第(n-1)层介质层及第(n-2)层金属层部分形成复合振膜;复合振膜中,第n层金属层作为电磁屏蔽上层、第(n-1)层金属层作为上电极、第(n-2)层金属层作为电极隔绝层;空腔底部的第(n-3)层金属层作为下电极,第(n-4)层金属层作为电磁屏蔽下层,第(n-5)层金属层作为电子层。

全文数据:

权利要求:

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