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太阳电池非栅线处镀铜锡不良的改善方法 

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申请/专利权人:通威太阳能(成都)有限公司

摘要:本发明提供了一种太阳电池非栅线处镀铜锡不良的改善方法,包括以下步骤:在太阳电池前驱体中的透明导电氧化物薄膜上制备铜种子层;在所述铜种子层上制备光刻胶层,其中,所述光刻胶层中具有气孔;去除暴露于所述气孔的所述铜种子层,以使所述铜种子层中具有开孔;对所述光刻胶层依次进行曝光、显影,得到图形化光刻胶层;通过所述图形化光刻胶层电镀铜;通过所述图形化光刻胶层电镀锡;使用碱性溶液去除所述图形化光刻胶层;以及使用含有酸性试剂的回刻液去除所述第二铜种子部、所述铜金属以及所述锡金属。本发明能够提高太阳电池的转换效率和外观。

主权项:1.一种太阳电池非栅线处镀铜锡不良的改善方法,其特征在于,包括以下步骤:在太阳电池前驱体中的透明导电氧化物薄膜上制备铜种子层;在所述铜种子层上制备光刻胶层,其中,所述光刻胶层中具有气孔,且部分所述铜种子层暴露于所述气孔;去除暴露于所述气孔的所述铜种子层,以使所述铜种子层中具有开孔;对所述光刻胶层依次进行曝光、显影,得到图形化光刻胶层,其中,所述图形化光刻胶层具有开槽,且部分所述铜种子层暴露于所述开槽,将暴露于所述开槽的所述铜种子层定义为第一铜种子部,并将未暴露于所述开槽的所述铜种子层定义为第二铜种子部;通过所述图形化光刻胶层电镀铜,以在所述第一铜种子部上制备铜栅线,其中,在电镀铜时,部分铜在所述开孔的内壁上形成铜金属;通过所述图形化光刻胶层电镀锡,以在所述铜栅线上制备锡栅线,其中,在电镀锡时,部分锡在所述铜金属上形成锡金属;使用碱性溶液去除所述图形化光刻胶层;以及使用含有酸性试剂的回刻液去除所述第二铜种子部、所述铜金属以及所述锡金属。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 通威太阳能(成都)有限公司 太阳电池非栅线处镀铜锡不良的改善方法

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