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申请/专利权人：研微(江苏)半导体科技有限公司

摘要：本申请提供了一种双腔的基座匹配装置和基座匹配方法。该基座匹配装置包括状态检测装置和控制器，每个基座的升降杆设置有状态检测装置，状态检测装置在外力驱动下带动升降杆升降，并且在基座的上升过程中检测基座是否到达隔离位置，在隔离位置，基座与腔体内的隔板相接触以使上腔室和下腔室相互流体隔离，每个基座的状态检测装置相互连接，以使每个基座同步升降；控制器被配置为：根据状态检测装置的检测结果判断每个基座是否到达其隔离位置；当每个基座均到达隔离位置后，根据状态检测装置的检测结果判断两个基座的高度是否匹配；其中，当两个基座的高度差达到预设范围内时，两个基座的高度匹配，从而提高半导体双腔处理室的工艺稳定性和产率。

主权项：1.一种双腔的基座匹配装置，所述双腔包括两个腔体，每个腔体中包括用于处理基片的上腔室、用于传输基片的下腔室、用于承载基片的基座，每个基座的底部设置有升降杆，所述基座由升降杆带动在所述上腔室和下腔室之间升降移动，其特征在于，包括状态检测装置和控制器，其中，每个基座的升降杆设置有所述状态检测装置，所述状态检测装置用于在外力驱动下带动所述升降杆升降，并且在所述基座的上升过程中检测所述基座是否到达隔离位置，在所述隔离位置，所述基座与腔体内的隔板相接触以使上腔室和下腔室相互流体隔离，每个基座的状态检测装置相互连接，以使每个所述基座同步升降；每个所述状态检测装置包括升降组件、结合件和检测器，所述升降组件包括第一升降件、第二升降件、第三升降件，其中，所述第一升降件、第二升降件、第三升降件和所述结合件依次设置在所述基座的下方，并都与所述升降杆可活动连接；所述第一升降件与所述第三升降件之间的距离固定；所述第二升降件与所述结合件固定连接；所述升降组件由外力驱动升降时用于带动所述升降杆升降；其中，当所述基座到达隔离位置时，所述第一升降件和所述第二升降件之间具有第一距离；所述检测器包括位移检测器，用于检测所述第一升降件和所述第二升降件之间的第一距离；所述控制器被配置为：根据所述检测器的检测结果判断每个基座是否到达隔离位置；当两个基座均到达隔离位置后，根据每个检测器的检测结果判断两个基座的高度是否匹配，其中，当两个检测器的检测结果为两个第一距离之差在第一范围内时，两个基座的高度匹配。

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