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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：一种抗蚀剂去除方法以及抗蚀剂去除装置，所述抗蚀剂去除装置1的加热板4配置于处理空间20且被加热至规定的温度。多个升降销51在处理空间20中保持在上表面91上具有抗蚀剂的图案的基板9，所述抗蚀剂在表面形成有变质层。销升降机构32使多个升降销51相对于加热板4相对地移动。臭氧气体供给部6向基板9的上表面91供给臭氧气体。控制部10将基板9配置在与加热板4隔开间隙的第一处理位置而利用臭氧气体进行变质层96的去除，然后，通过控制移动机构32，将基板9配置在该间隙比第一处理位置更小的第二处理位置而利用臭氧气体进行抗蚀剂的去除。由此，能够一边防止爆裂一边高效地去除基板9上的抗蚀剂。
主权项：1.一种抗蚀剂去除方法，用于将在主面上具有抗蚀剂的图案的基板的所述抗蚀剂去除，所述抗蚀剂在表面形成有变质层，其中，所述抗蚀剂去除方法具有：a工序，在与外部阻断的处理空间中，一边在与被加热至规定的温度的加热板隔开间隙的第一处理位置配置所述基板，一边向所述主面供给臭氧气体，从而去除所述变质层；b工序，在所述a工序之后，一边在所述间隙比所述第一处理位置更小的第二处理位置配置所述基板，一边向所述主面供给所述臭氧气体，从而去除所述抗蚀剂；以及c工序，与所述a工序并行地进行，通过测量从所述处理空间排出的气体中的所述臭氧气体的浓度，检测所述变质层的去除的终点。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 抗蚀剂去除方法以及抗蚀剂去除装置
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