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申请/专利权人：甘万达;甘芳齐
摘要：本发明涉及非接触角测量设备和方法。一种非接触角测量设备包括物质波和能量MWE粒子源和检测器。MWE粒子源用于生成玻色子或费米子粒子。检测器用于检测由1与第一平面的缝、凸块或孔对应的玻色子或费米子粒子和2与被第二平面反射的玻色子或费米子粒子相关联的物质波的波前分割生成的干涉图案的多个峰或谷，其中，所述干涉图案的所述多个峰或谷的角位置、所述第一平面与所述第二平面的接合区域之间的第一距离、以及所述检测器和所述缝、凸块或孔之间的第二距离用于决定所述第一平面和所述第二平面之间的角度。
主权项：1.一种非接触角测量设备，用于决定精细结构平面之间的角度，该非接触角测量设备包括：生成玻色子或费米子的粒子源；玻色子或费米子检测器；被测物的第一平面与第二平面之间具有一角度，其中所述第一平面具有一狭缝、凸块或孔，且所述狭缝、凸块或孔与连接区之间相隔一第一距离D1，以及所述检测器与所述狭缝、凸块或孔之间相隔一第二距离D2；所述检测器用于检测由以下两种情况生成的干涉图案的多个峰或谷：1由所述第一平面的狭缝、凸块或孔散射的玻色子或费米子；2由所述第二平面反射的与玻色子或费米子相关联的物质波；其中，所述干涉图案的多个峰或谷的角位置、所述第一距离D1以及所述第二距离D2用于决定所述第一平面与所述第二平面之间的角度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 甘万达 甘芳齐 非接触角测量设备和方法
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