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申请/专利权人：山东大学
摘要：本发明涉及一种预应变辅助的褶皱形式微纳结构制造装置及方法，包括：应变施加机构，应变施加机构用于设置样品的空间下方设有移印台，移印台与第一升降部件连接；刮涂机构，包括刮涂平台和刮刀，刮涂平台设置在应变施加机构一侧，刮刀与安装在刮涂平台的第一直线驱动部件连接以实现直线往复运动；移印机构，包括设置在应变施加机构和刮涂机构上方的移印头，移印头通过第二升降部件与第二直线驱动部件连接以实现将刮涂平台上的镀膜材料移印至应变施加机构固定的样品表面，采用本发明的装置自动化程度高，操作方便。
主权项：1.一种预应变辅助的褶皱形式微纳结构制造装置，其特征在于，包括：应变施加机构，应变施加机构用于设置样品的空间下方设有移印台，移印台与第一升降部件连接；刮涂机构，包括刮涂平台和刮刀，刮涂平台设置在应变施加机构一侧，刮刀与安装在刮涂平台的第一直线驱动部件连接以实现直线往复运动；移印机构，包括设置在应变施加机构和刮涂机构上方的移印头，移印头通过第二升降部件与第二直线驱动部件连接以实现将刮涂平台上的镀膜材料移印至应变施加机构固定的样品表面；所述应变施加机构包括多个沿圆周分布的应变施加组件，多个应变施加组件均与圆弧型导轨滑动连接，应变施加组件包括丝杠传动机构，丝杠传动机构与固定块连接，固定块固定有样品夹持部件；刮刀与第三升降部件连接，第三升降部件与刮刀滑块连接，刮刀滑块与刮涂导轨滑动连接，刮涂导轨通过支撑座与刮涂平台固定，刮涂滑块与第一直线驱动部件连接；第三升降部件采用微分头；所述微分头能够调节刮刀与刮涂平台之间的距离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东大学 一种预应变辅助的褶皱形式微纳结构制造装置及方法
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