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一种反射型红外梳状滤波薄膜及其参数设计方法 

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申请/专利权人:晋中学院

摘要:本发明涉及光学材料技术领域,具体涉及一种反射型红外梳状滤波薄膜,包括:基底层,基底层上依次设置有第一薄膜层、第二薄膜层、第三薄膜层、第四薄膜层和第五薄膜层,所述第一薄膜层、第三薄膜层和第五薄膜层为材料相同的高折射率层,所述第二薄膜层和第四薄膜层为材料相同的低折射率层,且所述第一和第五薄膜层的厚度为lam04×nH,第二薄膜层厚度为lam04×nL,第三薄膜层的厚度为第一薄膜层的n1倍,第四薄膜层的厚度为第二薄膜层的n24倍,其中n1为大于等于1的正整数,n2为大于等于4的正整数,nH表示高折射率层的折射率,nL表示低折射率的折射率。本发明通过在周期性结构中设置缺陷层,使得滤波薄膜的膜层薄,膜层少,可以实现波长可调的红外梳状滤波。

主权项:1.一种反射型红外梳状滤波薄膜,其特征在于,包括:基底层,所述基底层上依次设置NC个周期性结构,其中每个周期性结构包括由下至上依次设置的第一薄膜层、第二薄膜层、第三薄膜层、第四薄膜层和第五薄膜层,所述第一薄膜层、第三薄膜层和第五薄膜层的折射率为nH,所述第二薄膜层和第四薄膜层的折射率为nL,且所述第一薄膜层和第五薄膜层的厚度为lam04×nH,第二薄膜层厚度为lam04×nL,第三薄膜层的厚度为第一薄膜层的2*n1倍,第四薄膜层的厚度为第二薄膜层的4n2倍,其中,NC为大于等于1的正整数,n1为大于等于1的正整数,n2为大于等于4的正整数,nH>nL,lam0表示中心光波长;所述n1的取值为2~10;所述n2的取值为4~10;所述NC的取值为1~8;所述第一薄膜层、第三薄膜层和第五薄膜层材料为ZnS,所述第二薄膜层和第四薄膜层材料为Ag。

全文数据:

权利要求:

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