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申请/专利权人：吉林大学

摘要：本发明公开了一种基于激光烧蚀的荧光薄膜图案化方法及其应用，属于光电器件制备技术领域，通过在具有保护层的条件下利用激光在荧光薄膜上实现图案化烧蚀；将荧光材料旋涂在玻璃衬底上，制备均匀的荧光材料薄膜，并贴附一层透明保护层，然后在飞秒激光的作用下，最终在衬底上图案化烧蚀去除，留下图案化的荧光薄膜；其原理为当飞秒激光聚焦在玻璃和荧光薄膜界面时，并且激光能量达到荧光薄膜的烧蚀阈值时，荧光薄膜就可以被烧蚀去除；而在烧蚀去除过程中，粒子以及烧蚀碎屑的飞溅会影响材料表面的光滑度以及烧蚀效率，通过利用透明保护层贴附在荧光薄膜上，使得在烧蚀过程中图案化薄膜不受到碎屑的影响，从而实现高质量荧光薄膜的图案化制备。

主权项：1.一种基于激光烧蚀的荧光薄膜图案化的方法，其特征在于，具体步骤如下：1、荧光薄膜的制备；具体步骤为：首先，将干净的玻璃衬底使用去离子水和无水乙醇交替用棉球擦拭六次，在封闭空间内自然阴干；然后取微量0.01-0.2mL荧光材料溶液旋涂在玻璃衬底上，在热台上退火制备荧光薄膜；2保护层的贴附；具体步骤为：将旋涂好的荧光薄膜倒置贴附在透明保护层上，形成透明保护层荧光薄膜玻璃衬底的三层结构；3、激光图案化烧蚀；具体步骤为：利用电脑程序控制激光聚焦在玻璃衬底的荧光薄膜上，调节激光功率、扫描速度以及重频实现烧蚀去除图案化；最后，在衬底上可得到编程可控的高精度的均匀的图案化的荧光薄膜；步骤1的玻璃衬底尺寸为50*25*0.2毫米；所用棉球为医用脱脂棉球；所述荧光材料为CsPbBr3钙钛矿前驱体溶液、PEA2PbI4前驱体溶液或CdZnSeCdZnSZnS量子点溶液；所述旋涂转速为1000-3000转s，旋涂时间30s；步骤3所述激光为飞秒激光，飞秒激光波长为343-1030nm，脉冲频率为1-500kHz，实验所需激光功率为10-200mW，扫描速度为0.1mms-2mms，使用40倍镜头聚焦，其数值孔径为0.65；所述激光光路为：首先，使激光器出射的飞秒激光经第一凸透镜L1和光闸G后再经第二凸透镜L2扩束，将光斑扩大，而后依次经第一全反镜M1、第二全反镜M2、第三凸透镜L3和第四凸透镜L4进行光束整形，并依次经衰减片S、第一半反半透镜M3和物镜聚焦后入射至待加工样品。

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百度查询： 吉林大学 一种基于激光烧蚀的荧光薄膜图案化方法及其应用