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申请/专利权人：天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司
摘要：具有多梁檐空隙的体声波谐振器、滤波器和电子设备。本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极，设置在基底上方；顶电极；和压电层，设置在底电极上方以及底电极与顶电极之间，其中：所述声学镜、底电极、压电层和顶电极在谐振器厚度方向上的重叠区域构成谐振器的有效区域；所述有效区域的边缘的至少一部分设置有抑制结构，所述抑制结构具有至少两层在厚度方向上间隔开的空隙。所述抑制结构包括至少两个檐结构，所述至少两个檐结构在所述厚度方向上间隔开。所述抑制结构也可包括至少两个梁结构，所述至少两个梁结构在厚度方向上间隔开。本发明还涉及一种具有上述谐振器的滤波器，以及具有该滤波器或者谐振器的电子设备。
主权项：1.一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极，设置在基底上方；顶电极；和压电层，设置在底电极上方以及底电极与顶电极之间，其中：所述声学镜、底电极、压电层和顶电极在谐振器厚度方向上的重叠区域构成谐振器的有效区域；所述有效区域的边缘的至少一部分设置有抑制结构，所述抑制结构具有至少两层在厚度方向上间隔开的空隙，所述抑制结构包括至少两个在所述厚度方向上间隔开的檐结构和或至少两个在所述厚度方向上间隔开的梁结构，所述至少两层空隙位于至少两个檐结构和或至少两个梁结构中，以提高并联谐振频率处阻抗；所述至少两个檐结构包括由顶电极形成的第一檐结构以及由谐振器的钝化层形成的第二檐结构；和或所述至少两个梁结构包括由顶电极形成的第一梁结构以及由谐振器的钝化层形成的第二梁结构；第一檐结构和或第一梁结构的上下两侧形成两个空隙。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津大学 诺思(天津)微系统有限责任公司 具有多梁檐空隙的体声波谐振器、滤波器和电子设备
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